精密電子廠無塵室有一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級之分，在精密電子廠凈化裝修設計應根據(jù)在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設備布局，合理確定各種公用動力設施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高和建設投資。同時還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求。此外還應該盡可能提升生產(chǎn)設備的自動化水平和物料運輸?shù)淖詣踊剑诮?jīng)濟、實用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。
精密電子廠房無塵車間工程設計：
電子類產(chǎn)品更新?lián)Q代速度較快；以TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)為代表的平板顯示器正在取代彩色顯像管顯示器；計算機、通信、消費電子和汽車電子產(chǎn)品的迅速普及使得各種半導體元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此電子工廠無塵廠房的設計、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要。從無塵廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠無塵廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。電子無塵廠房形式一般有隧道式、開放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設備維護區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對潔凈度要求嚴格，而設備維護區(qū)的空氣潔凈度等級相對較低。
精密電子無塵車間根據(jù)不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于三十萬級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度百級、千級、萬級及十萬級的空氣凈化處理，應采用初、中、高效三級過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
精密電子無塵車間環(huán)境參數(shù)：
溫濕度要求：，相對濕度為55+5%。
新風量大：由于這類凈化無塵車間內(nèi)人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的*大值：非單向流凈化無塵室車間總送風量的10-30%，補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
送風量大：為了滿足精密電子無塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，例如300平方米的車間，吊頂高度為2.5米，如果是千級凈化無塵車間，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥25次/h)。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
換氣次數(shù)：百級：斷面風速0.3-0.5m/s，千級潔凈車間50－52次/小時；萬級凈化車間15－25次/小時；十萬級無塵車間10－15次/小時。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；溫度一般為23+2℃
相對濕度：45－65％（RH）。
噪聲≤65dB（A）。
新風補充量：總送風量的20％－30％。
照度：≥300Lux。
